绝缘体上硅射频器件及其制作方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310032589.9
申请日
2013-01-28
公开(公告)号
CN103077949B
公开(公告)日
2013-05-01
发明(设计)人
李乐
申请人
申请人地址
201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
IPC主分类号
H01L2712
IPC分类号
H01L21762
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
骆苏华
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
绝缘体上硅射频器件及其绝缘体上硅衬底 [P]. 
李乐 .
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许丹 .
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[3]
绝缘体上硅射频器件及其制造方法 [P]. 
钟政 ;
李乐 .
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[4]
绝缘体上硅射频开关器件结构 [P]. 
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[5]
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[6]
绝缘体上硅射频开关器件结构 [P]. 
刘张李 .
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[7]
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刘张李 .
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[8]
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刘张李 .
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[9]
绝缘体上硅结构及其制作方法 [P]. 
令海阳 .
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[10]
绝缘体上硅结构及其制作方法 [P]. 
周洁鹏 ;
贡祎琪 .
中国专利 :CN111816666A ,2020-10-23