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晶圆片预处理装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120512185.X
申请日：
2021-03-10
公开(公告)号：
CN214226893U
公开(公告)日：
2021-09-17
发明(设计)人：
史蒂文·贺·汪
林鹏鹏
申请人：
申请人地址：
201616 上海市松江区思贤路3600号
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
上海弼兴律师事务所 31283
代理人：
杨东明;何桥云
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-17 | 授权 | 授权 |