中间掩模版保持器和中间掩模版的组件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410087986.7

申请日：

2004-10-26

公开(公告)号：

CN1673859A

公开(公告)日：

2005-09-28

发明(设计)人：

G·－J·希伦斯 B·L·W·M·范德文

申请人：

申请人地址：

荷兰维尔德霍芬

IPC主分类号：

G03F116

IPC分类号：

G03F720 H01L2100

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

肖春京

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-12-27	实质审查的生效	实质审查的生效
2005-09-28	公开	公开
2011-09-21	授权	授权

共 50 条

[1]

中间掩模版保持器和中间掩模版的组件 [P].

G·-J·希伦斯 ;

B·L·W·M·范德文 .

中国专利 :CN102338992A ,2012-02-01

[2]

基于掩模版形状测量来推断和估计掩模版温度的方法 [P].

拉贾·加纳帕蒂·苏布拉曼尼安 .

:CN120344910A ,2025-07-18

[3]

一种掩模版架、掩模版架与掩模版间接触电阻的检测系统 [P].

黄宏君 .

中国专利 :CN210864316U ,2020-06-26

[4]

掩模版搬运装置隔离阻尼器元件 [P].

陈联圣 ;

S·莫达雷斯艾哈迈迪 ;

A·C·佩雷拉 ;

裴亚鲁 ;

R·J·约翰森 .

:CN120344920A ,2025-07-18

[5]

掩模保持器 [P].

大川浩二 ;

末安佑介 .

中国专利 :CN103328215A ,2013-09-25

[6]

玻璃掩模和掩模保持器的位置对准装置 [P].

目黑崇 .

中国专利 :CN101533225A ,2009-09-16

[7]

磁掩模保持器 [P].

迪特尔·曼茨 .

中国专利 :CN1861833A ,2006-11-15

[8]

用于掩模版粒子检测的所关注的区处理的方法 [P].

P·C·科奇斯珀格 ;

C·M·道汉 ;

J·L·克勒泽 ;

M·E·帕洛斯基 ;

A·本迪克塞 ;

K·U·索博列夫 ;

J·H·沃尔什 ;

R·B·维纳 ;

A·M·温卡塔拉曼 .

中国专利 :CN115004109A ,2022-09-02

[9]

中间保持器 [P].

H·许尔勒 ;

A·施泰因 ;

E·莫克 ;

M·马斯特 ;

A·希尔尼亚克 ;

N·比特梅德 .

中国专利 :CN106795709B ,2017-05-31

[10]

丝网印刷机的掩模保持器 [P].

蛭川立雄 ;

千贺章弘 .

中国专利 :CN205167827U ,2016-04-20

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