掩模版搬运装置隔离阻尼器元件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380085962.9

申请日：

2023-11-28

公开(公告)号：

CN120344920A

公开(公告)日：

2025-07-18

发明(设计)人：

陈联圣 S·莫达雷斯艾哈迈迪 A·C·佩雷拉裴亚鲁 R·J·约翰森

申请人：

ASML荷兰有限公司

申请人地址：

荷兰

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

张启程

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-18	公开	公开
2025-12-30	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20231128

共 50 条

[1]

一种掩模版搬运装置 [P].

徐承军 .

中国专利 :CN223174151U ,2025-08-01

[2]

一种掩模版搬运装置 [P].

周荣梵 ;

林超 ;

林伟 .

中国专利 :CN214140595U ,2021-09-07

[3]

振动阻尼器的阻尼元件以及振动阻尼器 [P].

H·米克纳霍 .

中国专利 :CN101194113A ,2008-06-04

[4]

阻尼器装置 [P].

薮内武之 ;

杉本真一 ;

菱沼修 ;

山田浩敦 ;

岩俊昭 ;

小川义博 ;

佐藤裕亮 .

中国专利 :CN107850023A ,2018-03-27

[5]

包括阻尼器和多个弹性体元件的阻尼器装置 [P].

A·加林 ;

R·桑德伯格 ;

M·利泽尔 ;

P·哈格伦德 .

:CN118524959A ,2024-08-20

[6]

振动阻尼器或隔离器 [P].

H·J·A·范德桑德 ;

H·G·J·J·A·弗鲁门 .

中国专利 :CN1954266A ,2007-04-25

[7]

中间掩模版保持器和中间掩模版的组件 [P].

G·-J·希伦斯 ;

B·L·W·M·范德文 .

中国专利 :CN102338992A ,2012-02-01

[8]

中间掩模版保持器和中间掩模版的组件 [P].

G·－J·希伦斯 ;

B·L·W·M·范德文 .

中国专利 :CN1673859A ,2005-09-28

[9]

阻尼器装置 [P].

木村元彦 .

中国专利 :CN101981340A ,2011-02-23

[10]

阻尼器装置 [P].

相川将隆 ;

松尾裕贵 .

中国专利 :CN110285190B ,2019-09-27

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