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一种掩模版搬运装置

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202421766768.5
申请日：
2024-07-25
公开(公告)号：
CN223174151U
公开(公告)日：
2025-08-01
发明(设计)人：
徐承军
申请人：
上海光大高科技股份有限公司
申请人地址：
201800 上海市嘉定区马陆镇复华路33号1幢1层A区
IPC主分类号：
B62B3/04
IPC分类号：
B62B5/04 B62B5/00
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
上海市 市辖区
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-08-01 授权 授权
共 50 条
[1]
一种掩模版搬运装置 [P]. 
周荣梵 ;
林超 ;
林伟 .
中国专利 :CN214140595U ,2021-09-07
[2]
掩模版 [P]. 
崔丹丹 ;
裘立强 ;
王毅 .
中国专利 :CN216450605U ,2022-05-06
[3]
掩模版 [P]. 
刘运金 ;
赵欢 ;
瞿智明 ;
杨尚华 ;
陈涛 .
中国专利 :CN217933845U ,2022-11-29
[4]
掩模版 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN208188580U ,2018-12-04
[5]
掩模版搬运装置隔离阻尼器元件 [P]. 
陈联圣 ;
S·莫达雷斯艾哈迈迪 ;
A·C·佩雷拉 ;
裴亚鲁 ;
R·J·约翰森 .
:CN120344920A ,2025-07-18
[6]
掩模版清洁装置 [P]. 
张祥平 ;
李天慧 ;
黄晓橹 ;
龙海凤 .
中国专利 :CN208673040U ,2019-03-29
[7]
掩模版清洗装置 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN222710325U ,2025-04-04
[8]
曝光用掩模版及掩模版组 [P]. 
向洋 ;
张波 ;
彭林 ;
叶宁 ;
李凡 .
中国专利 :CN209149063U ,2019-07-23
[9]
一种掩模版用光罩盒 [P]. 
杨波 .
中国专利 :CN222365187U ,2025-01-17
[10]
一种掩模版的清洗装置 [P]. 
侯广杰 .
中国专利 :CN204523639U ,2015-08-05
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