一种掩模版架、掩模版架与掩模版间接触电阻的检测系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921275296.2

申请日：

2019-08-07

公开(公告)号：

CN210864316U

公开(公告)日：

2020-06-26

发明(设计)人：

黄宏君

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市太湖国际科技园菱湖大道180号-6

IPC主分类号：

G03F164

IPC分类号：

G03F720 G01R2702

代理机构：

无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262

代理人：

贾传美;赵华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-26	授权	授权

共 50 条

[1]

掩模版、掩模版检测装置、掩模版存在和位姿检测系统及检测方法 [P].

黄振伟 ;

胡松立 ;

周志安 ;

高宇航 ;

解奇军 .

中国专利 :CN120295052A ,2025-07-11

[2]

一种掩模版缺陷检测系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN120909052A ,2025-11-07

[3]

掩模版处理机及其版架 [P].

黄宏君 ;

沈俊然 .

中国专利 :CN203117635U ,2013-08-07

[4]

一种掩模版清洗花篮 [P].

顾梦星 ;

朱磊 ;

张月圆 ;

陈青 .

中国专利 :CN211350598U ,2020-08-25

[5]

一种掩模版搬运装置 [P].

徐承军 .

中国专利 :CN223174151U ,2025-08-01

[6]

一种新型掩模版库 [P].

王印勋 ;

王野 ;

毕厚海 ;

肖博翰 ;

闵中华 .

中国专利 :CN222621244U ,2025-03-14

[7]

一种掩模版搬运装置 [P].

周荣梵 ;

林超 ;

林伟 .

中国专利 :CN214140595U ,2021-09-07

[8]

一种通用掩模版盒 [P].

朱希进 ;

尤春 ;

刘维维 ;

季书凤 ;

杨长华 ;

薛文卿 ;

张月圆 ;

刘浩 ;

陈青 ;

刘孝君 .

中国专利 :CN208796016U ,2019-04-26

[9]

一种适用于光刻掩模版缺陷修补机的掩模版载具 [P].

陈杰 ;

姜巍 .

中国专利 :CN210742673U ,2020-06-12

[10]

一种掩模版的清洗装置 [P].

侯广杰 .

中国专利 :CN204523639U ,2015-08-05

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