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一种适用于光刻掩模版缺陷修补机的掩模版载具
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201922356261.8
申请日：
2019-12-20
公开(公告)号：
CN210742673U
公开(公告)日：
2020-06-12
发明(设计)人：
陈杰
姜巍
申请人：
申请人地址：
200233 上海市徐汇区宜山路800号
IPC主分类号：
G03F172
IPC分类号：
代理机构：
北京专赢专利代理有限公司 11797
代理人：
李斌
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-12 | 授权 | 授权 |
| 2021-12-03 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 1/72 申请日:20191220 授权公告日:20200612 终止日期:20201220 |