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光刻掩模版的清洁方法及设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311642923.2
申请日：
2023-12-01
公开(公告)号：
CN118112886A
公开(公告)日：
2024-05-31
发明(设计)人：
徐佳
宋晓辉
梁明晓
申请人：
无锡迪思微电子有限公司
华润微电子控股有限公司
申请人地址：
214135 江苏省无锡市太湖国际科技园菱湖大道180号-6
IPC主分类号：
G03F1/82
IPC分类号：
代理机构：
华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
虞凌霄
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
江苏省
无锡市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-06-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 1/82申请日:20231201 |
| 2024-05-31 | 公开 | 公开 |
| 2024-09-20 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移IPC(主分类):G03F 1/82登记生效日:20240905变更事项:申请人变更前权利人:无锡迪思微电子有限公司变更后权利人:无锡迪思微电子有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国变更后权利人:中国变更事项:地址变更前权利人:214135 江苏省无锡市太湖国际科技园菱湖大道180号-6变更后权利人:214000 江苏省无锡市太湖国际科技园菱湖大道180号-6变更事项:申请人变更前权利人:华润微电子控股有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国 |
| 2025-09-05 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更IPC(主分类):G03F 1/82变更事项:专利权人变更前:无锡迪思微电子有限公司变更后:无锡迪思微电子股份有限公司变更事项:国家或地区变更前:中国变更后:中国变更事项:地址变更前:江苏省无锡市新吴区新锦路27号变更后:214122 江苏省无锡市新吴区新锦路27号 |
| 2024-10-22 | 授权 | 授权 |