一种晶体硅片表面处理的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210350933.4

申请日：

2012-09-20

公开(公告)号：

CN102856189B

公开(公告)日：

2013-01-02

发明(设计)人：

季静佳覃榆森朱凡

申请人：

申请人地址：

215104 江苏省苏州市吴中经济开发区吴中大道1368号A幢602室

IPC主分类号：

H01L21306

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法律状态：

实质审查的生效

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-02-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101395925247 IPC(主分类):H01L 21/306 专利申请号:2012103509334 申请日:20120920
2015-09-09	授权	授权
2013-01-02	公开	公开
2019-10-01	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/306 变更事项:专利权人变更前:苏州易益新能源科技有限公司变更后:苏州易益新能源科技有限公司变更事项:地址变更前:215104 江苏省苏州市吴中经济开发区吴中大道1368号A幢602室变更后:215104 江苏省苏州市吴中区越溪街道前珠路18-38号2幢

共 50 条

[1]

一种硅片的表面处理方法 [P].

居建华 .

中国专利 :CN117894670A ,2024-04-16

[2]

一种硅片的表面处理方法 [P].

赵旺 ;

张娟宁 ;

齐成天 ;

杨正文 ;

杨凯文 .

中国专利 :CN117637443A ,2024-03-01

[3]

一种硅片的表面处理方法 [P].

赵旺 ;

张娟宁 ;

齐成天 ;

杨正文 ;

杨凯文 .

中国专利 :CN117637443B ,2024-07-19

[4]

一种晶体硅片的刻蚀方法 [P].

沈波涛 ;

党继东 .

中国专利 :CN106571411B ,2017-04-19

[5]

一种在晶体硅片表面选择性制备绒面的方法 [P].

季静佳 ;

覃榆森 .

中国专利 :CN109427930B ,2019-03-05

[6]

一种硅片表面处理方法 [P].

赵而敬 ;

曹孜 ;

王永涛 ;

刘建涛 ;

韩晨华 ;

郑捷 ;

张静 ;

张建 ;

张岩 .

中国专利 :CN109935528A ,2019-06-25

[7]

一种晶体硅片位错检测方法 [P].

肖贵云 ;

陈养俊 ;

陈伟 ;

林瑶 ;

徐志群 ;

金浩 ;

陈康平 .

中国专利 :CN104934339A ,2015-09-23

[8]

硅片表面长多晶的方法 [P].

江笠 ;

李敏 .

中国专利 :CN106601594A ,2017-04-26

[9]

一种晶体硅片的清洗工艺方法 [P].

左国军 .

中国专利 :CN103199005A ,2013-07-10

[10]

一种晶体硅片的制绒方法 [P].

王红芳 ;

徐卓 ;

李锋 ;

潘明翠 ;

郎芳 ;

翟金叶 ;

孟庆超 ;

夏新中 ;

陈志军 ;

史金超 ;

于波 .

中国专利 :CN115602755A ,2023-01-13

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