共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
基板传递机械手及基板传递系统
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201320599166.0
申请日：
2013-09-26
公开(公告)号：
CN203535331U
公开(公告)日：
2014-04-09
发明(设计)人：
井杨坤
顾二兴
申请人：
申请人地址：
230012 安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号
IPC主分类号：
G02F113
IPC分类号：
代理机构：
北京路浩知识产权代理有限公司 11002
代理人：
孟宪功
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-04-09 | 授权 | 授权 |