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基板双面处理高效传递系统
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821825648.2
申请日：
2018-11-07
公开(公告)号：
CN208767274U
公开(公告)日：
2019-04-19
发明(设计)人：
彭博
徐春旭
申请人：
申请人地址：
110168 辽宁省沈阳市浑南新区飞云路16号
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
代理人：
何丽英
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-05-21 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/677 变更事项:专利权人 变更前:沈阳芯源微电子设备有限公司 变更后:沈阳芯源微电子设备股份有限公司 变更事项:地址 变更前:110168 辽宁省沈阳市浑南新区飞云路16号 变更后:110168 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号 |
| 2019-04-19 | 授权 | 授权 |