基板双面清洗系统

被引：0

申请号：

CN202222782942.2

申请日：

2022-10-21

公开(公告)号：

CN218414527U

公开(公告)日：

2023-01-31

发明(设计)人：

李响郑云龙彭博李檀

申请人：

申请人地址：

110168 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L2167 B08B1300

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

吴浩

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-31	授权	授权

共 50 条

[1]

基板清洗装置及基板清洗系统 [P].

舒福璋 ;

李伟 ;

尹影 ;

石启鹏 .

中国专利 :CN221657283U ,2024-09-06

[2]

基板清洗系统 [P].

史延锋 ;

史延库 .

中国专利 :CN213051884U ,2021-04-27

[3]

基板清洗用排气装置及基板清洗系统 [P].

张博 ;

张为强 ;

尹影 ;

李婷 .

中国专利 :CN223505861U ,2025-11-04

[4]

基板清洗装置、基板清洗系统以及基板清洗方法 [P].

金子都 ;

折居武彦 ;

志村悟 ;

山下刚秀 ;

菅野至 .

中国专利 :CN103567169B ,2014-02-12

[5]

基板清洗装置及基板清洗系统 [P].

舒福璋 ;

李伟 ;

尹影 ;

石启鹏 .

中国专利 :CN117563994A ,2024-02-20

[6]

基板清洗系统 [P].

相原明德 ;

金子都 ;

折居武彦 ;

菅野至 .

中国专利 :CN209747470U ,2019-12-06

[7]

一种基板清洗系统 [P].

齐永莲 ;

舒适 ;

王灿 ;

惠官宝 .

中国专利 :CN203292158U ,2013-11-20

[8]

玻璃基板清洗系统 [P].

王树利 ;

穆美强 ;

苏记华 ;

杜跃武 ;

张云晓 ;

任晓金 ;

刘晓波 .

中国专利 :CN206701896U ,2017-12-05

[9]

基板清洗方法、基板清洗系统 [P].

金子都 ;

田内启士 ;

折居武彦 ;

菅野至 .

中国专利 :CN104624561B ,2015-05-20

[10]

基板清洗方法、基板清洗系统 [P].

相原明德 ;

田中晓 ;

金子都 ;

田内启士 ;

折居武彦 ;

菅野至 .

中国专利 :CN104637784B ,2015-05-20

← 1 2 3 4 5 →