基板清洗系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021701823.4

申请日：

2020-08-17

公开(公告)号：

CN213051884U

公开(公告)日：

2021-04-27

发明(设计)人：

史延锋史延库

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市周市镇康庄路148号

IPC主分类号：

B08B700

IPC分类号：

B08B1100 B08B102 B08B302 B08B308 B08B500 B08B1300 B65G4906 F26B2100

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-27	授权	授权

共 50 条

[1]

基板清洗装置及基板清洗系统 [P].

舒福璋 ;

李伟 ;

尹影 ;

石启鹏 .

中国专利 :CN221657283U ,2024-09-06

[2]

基板双面清洗系统 [P].

李响 ;

郑云龙 ;

彭博 ;

李檀 .

中国专利 :CN218414527U ,2023-01-31

[3]

基板清洗用排气装置及基板清洗系统 [P].

张博 ;

张为强 ;

尹影 ;

李婷 .

中国专利 :CN223505861U ,2025-11-04

[4]

基板清洗装置、基板清洗系统以及基板清洗方法 [P].

金子都 ;

折居武彦 ;

志村悟 ;

山下刚秀 ;

菅野至 .

中国专利 :CN103567169B ,2014-02-12

[5]

基板清洗装置及基板清洗系统 [P].

舒福璋 ;

李伟 ;

尹影 ;

石启鹏 .

中国专利 :CN117563994A ,2024-02-20

[6]

基板清洗系统 [P].

相原明德 ;

金子都 ;

折居武彦 ;

菅野至 .

中国专利 :CN209747470U ,2019-12-06

[7]

一种基板清洗系统 [P].

齐永莲 ;

舒适 ;

王灿 ;

惠官宝 .

中国专利 :CN203292158U ,2013-11-20

[8]

玻璃基板清洗系统 [P].

王树利 ;

穆美强 ;

苏记华 ;

杜跃武 ;

张云晓 ;

任晓金 ;

刘晓波 .

中国专利 :CN206701896U ,2017-12-05

[9]

基板清洗方法、基板清洗系统 [P].

金子都 ;

田内启士 ;

折居武彦 ;

菅野至 .

中国专利 :CN104624561B ,2015-05-20

[10]

基板清洗方法、基板清洗系统 [P].

相原明德 ;

田中晓 ;

金子都 ;

田内启士 ;

折居武彦 ;

菅野至 .

中国专利 :CN104637784B ,2015-05-20

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