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基板承载装置和基板传递系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111272533.1
申请日：
2021-10-29
公开(公告)号：
CN114084648A
公开(公告)日：
2022-02-25
发明(设计)人：
张亚男
权永春
申请人：
申请人地址：
223800 江苏省宿迁市经济技术开发区金鸡湖路178号
IPC主分类号：
B65G4774
IPC分类号：
代理机构：
北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447
代理人：
金兰
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B65G 47/74 申请日:20211029 |
| 2022-02-25 | 公开 | 公开 |