基板承载装置及基板装载系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910943935.6

申请日：

2019-09-30

公开(公告)号：

CN111009479A

公开(公告)日：

2020-04-14

发明(设计)人：

曾元民

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹县芎林乡文山路636号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2168 H01L21687 C25D712 C25D1706

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

罗英;臧建明

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20190930
2020-04-14	公开	公开

共 50 条

[1]

基板承载装置及基板装载系统 [P].

曾元民 .

中国专利 :CN210429756U ,2020-04-28

[2]

基板装载系统 [P].

R·帕特森 ;

Y·A·阿哈默德 .

中国专利 :CN109923658A ,2019-06-21

[3]

基板装载系统 [P].

R·帕特森 ;

Y·A·阿哈默德 .

中国专利 :CN115642115A ,2023-01-24

[4]

基板承载装置和基板传递系统 [P].

张亚男 ;

权永春 .

中国专利 :CN114084648A ,2022-02-25

[5]

基板承载装置及基板传送设备 [P].

林子锦 ;

隋娜 ;

舒文韬 ;

罗江波 ;

杨仲青 .

中国专利 :CN207067767U ,2018-03-02

[6]

基板承载装置及基板处理设备 [P].

韩阳 ;

刘文博 ;

黄天宇 ;

何西登 ;

樊昌浩 ;

陈中强 .

中国专利 :CN119108331A ,2024-12-10

[7]

基板承载装置及基板传送设备 [P].

林子锦 ;

隋娜 ;

舒文韬 ;

罗江波 ;

杨仲青 .

中国专利 :CN107357236A ,2017-11-17

[8]

基板承载台及承载装置 [P].

杜中辉 .

中国专利 :CN113571462A ,2021-10-29

[9]

基板定位承载装置、基板组立系统及基板组立方法 [P].

张雪 .

中国专利 :CN104185415A ,2014-12-03

[10]

基板承载装置 [P].

陈建智 ;

卢建智 ;

周武松 ;

温焕铭 .

中国专利 :CN100340902C ,2005-01-19

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