基板装载系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780067080.4

申请日：

2017-09-27

公开(公告)号：

CN109923658A

公开(公告)日：

2019-06-21

发明(设计)人：

R·帕特森 Y·A·阿哈默德

申请人：

申请人地址：

美国德克萨斯州

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

B29C4302 B29C5900 B29C5902 G03F700 H01L2167

代理机构：

北京市中咨律师事务所 11247

代理人：

牛晓玲;吴鹏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20170927
2019-06-21	公开	公开

共 50 条

[1]

基板装载系统 [P].

R·帕特森 ;

Y·A·阿哈默德 .

中国专利 :CN115642115A ,2023-01-24

[2]

基板承载装置及基板装载系统 [P].

曾元民 .

中国专利 :CN210429756U ,2020-04-28

[3]

基板承载装置及基板装载系统 [P].

曾元民 .

中国专利 :CN111009479A ,2020-04-14

[4]

一种新型基板装载系统 [P].

方淼 .

中国专利 :CN215827188U ,2022-02-15

[5]

装载系统 [P].

永井保男 .

中国专利 :CN110338552A ,2019-10-18

[6]

装载系统 [P].

罗宾·塞利斯 ;

伯顿·德·瓦勒 ;

尼科·基肯 .

美国专利 :CN109771157B ,2025-07-15

[7]

装载系统 [P].

罗宾·塞利斯 ;

伯顿·德·瓦勒 ;

尼科·基肯 .

中国专利 :CN109771157A ,2019-05-21

[8]

装载系统 [P].

A·K·塞缪尔森 ;

J·斯特劳姆 .

中国专利 :CN101522512B ,2009-09-02

[9]

装载系统 [P].

谢逢春 ;

雅罗斯瓦夫·科瓦尔斯基 ;

安德烈·普日比斯基 ;

张丹丹 ;

胡绿海 ;

邓颖聪 ;

曹健 ;

王长军 ;

鲁异 ;

吴海东 ;

肖辉 .

中国专利 :CN208761649U ,2019-04-19

[10]

装载系统 [P].

J·E·哈特 .

中国专利 :CN107922133A ,2018-04-17

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