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基板承载装置及基板装载系统
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921657678.1
申请日：
2019-09-30
公开(公告)号：
CN210429756U
公开(公告)日：
2020-04-28
发明(设计)人：
曾元民
申请人：
申请人地址：
中国台湾新竹县芎林乡文山路636号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L2168
H01L21687
C25D712
C25D1706
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
罗英;臧建明
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-14 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20190930 授权公告日:20200428 终止日期:20200930 |
| 2020-04-28 | 授权 | 授权 |