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静电吸盘、晶圆蚀刻装置以及晶圆温度控制装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910734464.8
申请日：
2019-08-09
公开(公告)号：
CN110867405A
公开(公告)日：
2020-03-06
发明(设计)人：
朴明修
路四清
石川道夫
菊池正志
申请人：
申请人地址：
韩国京畿道
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人：
赵南;张青
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-03-06 | 公开 | 公开 |
| 2021-07-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20190809 |