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用于处理晶圆的反应装置、静电吸盘和晶圆温度控制方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201110434708.4
申请日：
2011-12-22
公开(公告)号：
CN103177996A
公开(公告)日：
2013-06-26
发明(设计)人：
何其旸
张翼英
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道18号
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038
代理人：
孙宝海
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-07-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101497322690 IPC(主分类):H01L 21/683 专利申请号:2011104347084 申请日:20111222 |
| 2013-06-26 | 公开 | 公开 |
| 2017-03-15 | 授权 | 授权 |