一种硅片清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721589810.0

申请日：

2017-11-24

公开(公告)号：

CN208527494U

公开(公告)日：

2019-02-22

发明(设计)人：

王晓捧史丽萍王宏宇梁效峰徐长坡陈澄杨玉聪

申请人：

申请人地址：

300384 天津市西青区华苑产业区（环外）海泰东路12号A座二层

IPC主分类号：

B08B304

IPC分类号：

B08B1300 H01L2102

代理机构：

天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213

代理人：

栾志超

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-22	授权	授权
2022-05-27	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):B08B 3/04 登记生效日:20220513 变更事项:专利权人变更前权利人:天津环鑫科技发展有限公司变更后权利人:江苏环鑫半导体有限公司变更事项:地址变更前权利人:300384 天津市西青区华苑产业区（环外）海泰东路12号A座二层变更后权利人:214200 江苏省无锡市宜兴市屺亭街道文庄路2号

共 50 条

[1]

一种硅片清洗机用硅片清洗装置 [P].

王志腾 ;

黄婷婷 ;

古再丽努尔·麦麦提尼亚孜 ;

夏村村 ;

钟喜琳 .

中国专利 :CN217017714U ,2022-07-22

[2]

一种硅片清洗机用硅片清洗装置 [P].

曹志勇 ;

杭智华 .

中国专利 :CN221657360U ,2024-09-06

[3]

一种硅片清洗机用硅片清洗装置 [P].

孙芳良 .

中国专利 :CN210847462U ,2020-06-26

[4]

一种硅片清洗机用硅片清洗装置 [P].

张志康 ;

吕强 ;

徐坤 .

中国专利 :CN207719159U ,2018-08-10

[5]

一种硅片清洗装置 [P].

陈小力 ;

王进昌 .

中国专利 :CN203983246U ,2014-12-03

[6]

一种硅片清洗装置 [P].

陈涛 ;

岳维维 ;

孟祥熙 ;

赵艳 .

中国专利 :CN213613041U ,2021-07-06

[7]

一种硅片清洗装置 [P].

高鹏 ;

王岩 ;

王永青 ;

李建弘 ;

王建平 ;

郭志荣 ;

王冬雪 .

中国专利 :CN207254859U ,2018-04-20

[8]

一种硅片清洗装置 [P].

高如山 .

中国专利 :CN215451365U ,2022-01-07

[9]

一种硅片清洗装置 [P].

朱浩 ;

唐剑明 ;

王永亮 .

中国专利 :CN221620160U ,2024-08-30

[10]

一种硅片清洗装置 [P].

刘园 ;

袁祥龙 ;

赵洋 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

祝斌 ;

刘姣龙 ;

裴坤羽 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

张宏杰 ;

由佰玲 ;

常雪岩 ;

杨春雪 ;

谢艳 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN218191339U ,2023-01-03

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