GaN微压压力传感器及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811125179.8

申请日：

2018-09-26

公开(公告)号：

CN109269687A

公开(公告)日：

2019-01-25

发明(设计)人：

谭鑫吕元杰宋旭波周幸叶王元刚冯志红梁士雄徐森峰

申请人：

申请人地址：

050051 河北省石家庄市新华区合作路113号

IPC主分类号：

G01L114

IPC分类号：

G01L100 G01L120 G01L902 G01L912 G01L1100

代理机构：

石家庄国为知识产权事务所 13120

代理人：

王丽巧

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-25	公开	公开
2019-02-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 1/14 申请日:20180926
2021-04-16	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01L 1/14 申请公布日:20190125

共 50 条

[1]

SOI基GaN压力传感器及其制备方法 [P].

吕元杰 ;

谭鑫 ;

宋旭波 ;

周幸叶 ;

王元刚 ;

冯志红 ;

梁士雄 ;

马春雷 .

中国专利 :CN109297620A ,2019-02-01

[2]

MEMS微压压力传感器 [P].

薛静静 ;

汪祖民 ;

周海慧 ;

徐栋 ;

车成美 ;

吴同德 ;

卞庆浩 ;

杨明亮 ;

毛静 .

中国专利 :CN205785644U ,2016-12-07

[3]

气压压力传感器 [P].

王划 .

中国专利 :CN211855683U ,2020-11-03

[4]

控压压力传感器 [P].

臧建虎 .

中国专利 :CN102865964A ,2013-01-09

[5]

油压压力传感器 [P].

郭宏 ;

何堃 ;

陈英刚 ;

王莉莎 ;

田继忠 ;

申爱群 .

中国专利 :CN303179269S ,2015-04-22

[6]

液压压力传感器 [P].

万雳 ;

朱洪发 ;

罗明 .

中国专利 :CN205047551U ,2016-02-24

[7]

Si基GaN压力传感器的制备方法 [P].

谭鑫 ;

吕元杰 ;

周幸叶 ;

宋旭波 ;

王元刚 ;

冯志红 ;

徐森锋 ;

马春雷 .

中国专利 :CN108400235B ,2018-08-14

[8]

Si基GaN压力传感器的制备方法 [P].

吕元杰 ;

谭鑫 ;

周幸叶 ;

宋旭波 ;

王元刚 ;

冯志红 .

中国专利 :CN108414120A ,2018-08-17

[9]

Si基GaN压力传感器的制备方法 [P].

谭鑫 ;

吕元杰 ;

周幸叶 ;

宋旭波 ;

王元刚 ;

冯志红 ;

马春雷 ;

邹学锋 .

中国专利 :CN108598253B ,2018-09-28

[10]

油压压力传感器 [P].

陶文川 .

中国专利 :CN307678796S ,2022-11-22

← 1 2 3 4 5 →