研磨垫修整装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010417602.2

申请日：

2020-05-15

公开(公告)号：

CN111571444A

公开(公告)日：

2020-08-25

发明(设计)人：

丁彦荣杨涛张月卢一泓刘青

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

B24B53017

IPC分类号：

B24B5302 B24B5314

代理机构：

北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667

代理人：

陈晓瑜

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-25	公开	公开
2020-09-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 53/017 申请日:20200515
2023-01-31	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B24B 53/017 申请公布日:20200825

共 50 条

[1]

研磨垫修整装置 [P].

岳志刚 ;

辛君 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN210210001U ,2020-03-31

[2]

研磨垫修整装置及研磨垫修整方法 [P].

弓艳霞 .

中国专利 :CN106272075B ,2017-01-04

[3]

研磨垫修整方法、研磨垫修整装置及化学机械研磨设备 [P].

陈盈同 .

中国专利 :CN106239356A ,2016-12-21

[4]

研磨垫的修整方法和修整装置 [P].

小山晴道 .

中国专利 :CN102284910A ,2011-12-21

[5]

固定盘、研磨垫修整装置及研磨垫修整装置的更换系统 [P].

吴科良 ;

岳志刚 ;

辛君 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN207852617U ,2018-09-11

[6]

一种研磨垫修整治具和研磨垫修整装置 [P].

周群飞 ;

熊金水 ;

周训来 .

中国专利 :CN208451389U ,2019-02-01

[7]

一种研磨垫修整装置 [P].

陈锟 ;

宋锴星 ;

黄耀东 .

中国专利 :CN117464554A ,2024-01-30

[8]

修整盘掉落侦测装置及研磨垫修整装置 [P].

汪康 ;

田得暄 ;

辛君 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN210010848U ,2020-02-04

[9]

供双面研磨装置的研磨垫用的修整装置和修整方法 [P].

原光广 ;

依田辽介 .

中国专利 :CN106335004A ,2017-01-18

[10]

修整装置和研磨装置 [P].

三井贵彦 ;

山本荣一 .

中国专利 :CN113941953A ,2022-01-18

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