研磨垫修整装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920979991.0

申请日：

2019-06-26

公开(公告)号：

CN210210001U

公开(公告)日：

2020-03-31

发明(设计)人：

岳志刚辛君林宗贤

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

B24B53017

IPC分类号：

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤;陈丽丽

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-31	授权	授权

共 50 条

[1]

研磨垫修整装置 [P].

丁彦荣 ;

杨涛 ;

张月 ;

卢一泓 ;

刘青 .

中国专利 :CN111571444A ,2020-08-25

[2]

研磨垫修整装置及研磨垫修整方法 [P].

弓艳霞 .

中国专利 :CN106272075B ,2017-01-04

[3]

固定盘、研磨垫修整装置及研磨垫修整装置的更换系统 [P].

吴科良 ;

岳志刚 ;

辛君 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN207852617U ,2018-09-11

[4]

一种研磨垫修整治具和研磨垫修整装置 [P].

周群飞 ;

熊金水 ;

周训来 .

中国专利 :CN208451389U ,2019-02-01

[5]

修整盘掉落侦测装置及研磨垫修整装置 [P].

汪康 ;

田得暄 ;

辛君 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN210010848U ,2020-02-04

[6]

研磨垫修整方法、研磨垫修整装置及化学机械研磨设备 [P].

陈盈同 .

中国专利 :CN106239356A ,2016-12-21

[7]

研磨垫修整器及化学机械研磨装置 [P].

尹良宣 ;

高林 .

中国专利 :CN216859379U ,2022-07-01

[8]

研磨垫修整器及化学机械研磨装置 [P].

田得暄 ;

辛君 ;

林宗贤 ;

吴龙江 .

中国专利 :CN207448221U ,2018-06-05

[9]

研磨垫修整器及化学机械研磨装置 [P].

王海宽 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

郭松辉 ;

吕新强 .

中国专利 :CN207273005U ,2018-04-27

[10]

研磨垫的修整方法和修整装置 [P].

小山晴道 .

中国专利 :CN102284910A ,2011-12-21

← 1 2 3 4 5 →