等离子体供给装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200990100703.4

申请日：

2009-02-13

公开(公告)号：

CN202930354U

公开(公告)日：

2013-05-08

发明(设计)人：

T·雷蒂希

申请人：

申请人地址：

德国弗赖堡

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H03K17687 H03K17691

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

曾立

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-05-08	授权	授权
2019-03-12	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20090213 授权公告日:20130508

共 50 条

[1]

用于等离子体供给装置的模块和等离子体供给装置 [P].

D·克劳瑟 .

中国专利 :CN202721890U ,2013-02-06

[2]

等离子体产生组件及等离子体处理装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN210984687U ,2020-07-10

[3]

等离子体约束装置及等离子体处理装置 [P].

傅时梁 ;

杨金全 ;

王枫 .

中国专利 :CN212461598U ,2021-02-02

[4]

等离子体废气处理装置 [P].

姚文旭 ;

林采成 ;

徐神斌 .

中国专利 :CN222305328U ,2025-01-07

[5]

等离子体处理装置和高频电力供给装置 [P].

速水利泰 ;

岩崎征英 ;

高平淳一 ;

渡部一良 ;

小松真一 ;

佐佐木雄一 .

中国专利 :CN101064987A ,2007-10-31

[6]

等离子体处理装置和高频电力供给装置 [P].

速水利泰 ;

岩崎征英 ;

高平淳一 ;

渡部一良 ;

小松真一 ;

佐佐木雄一 .

中国专利 :CN1280873C ,2004-10-20

[7]

等离子体处理装置以及等离子体处理装置用气体供给机构 [P].

岩崎征英 ;

野沢俊久 .

中国专利 :CN102239544A ,2011-11-09

[8]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

岸宏树 ;

徐智洙 .

中国专利 :CN106920733B ,2017-07-04

[9]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

吉田绚 ;

河野和则 .

中国专利 :CN114496709A ,2022-05-13

[10]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

舆水地盐 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

山涌纯 ;

饭塚八城 .

中国专利 :CN102054649A ,2011-05-11

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