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一种半导体炉管的清洗设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011615757.3
申请日：
2020-12-30
公开(公告)号：
CN112833679A
公开(公告)日：
2021-05-25
发明(设计)人：
钱诚
童建
霍召军
申请人：
申请人地址：
225300 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路199号
IPC主分类号：
F27D2500
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):F27D 25/00 申请日:20201230 |
| 2022-01-25 | 授权 | 授权 |
| 2021-05-25 | 公开 | 公开 |