一种半导体炉管清洗机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020274685.X

申请日：

2020-03-09

公开(公告)号：

CN213001578U

公开(公告)日：

2021-04-20

发明(设计)人：

梁尚红

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市锡山经济技术开发区芙蓉中三路99号瑞云4座309

IPC主分类号：

B08B9023

IPC分类号：

代理机构：

南京禾易知识产权代理有限公司 32320

代理人：

师自春

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-20	授权	授权

共 50 条

[1]

一种半导体炉管清洗机构 [P].

钱诚 ;

李刚 ;

周少龙 .

中国专利 :CN208853394U ,2019-05-14

[2]

炉管清洗机构 [P].

李汉生 ;

蔡雪良 ;

黄建光 ;

潘涛 .

中国专利 :CN208178032U ,2018-12-04

[3]

一种半导体清洗机搬运机构 [P].

孔祥振 ;

焦明印 ;

李为一 .

中国专利 :CN218274545U ,2023-01-10

[4]

一种半导体硅片表面清洗机构 [P].

常雪岩 ;

武卫 ;

刘园 ;

刘建伟 ;

祝斌 ;

刘姣龙 ;

裴坤羽 ;

袁祥龙 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

王聚安 ;

由佰玲 ;

杨春雪 ;

谢艳 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN211929444U ,2020-11-13

[5]

一种半导体清洗机 [P].

朱耿森 ;

蔡丽虹 ;

朱和亮 .

中国专利 :CN220541590U ,2024-02-27

[6]

半导体扩散炉管清洗机的炉管传动结构 [P].

贺贵虎 .

中国专利 :CN2462341Y ,2001-11-28

[7]

一种半导体晶片清洗机 [P].

李仁杰 .

中国专利 :CN215198472U ,2021-12-17

[8]

一种半导体微尘清洗机 [P].

曹长见 .

中国专利 :CN221951899U ,2024-11-05

[9]

一种半导体炉管的清洗设备 [P].

钱诚 ;

童建 ;

霍召军 .

中国专利 :CN213546275U ,2021-06-25

[10]

半导体元件清洗机 [P].

吴永清 .

中国专利 :CN2889529Y ,2007-04-18

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