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半导体扩散炉管清洗机的炉管传动结构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN01203061.9
申请日：
2001-02-02
公开(公告)号：
CN2462341Y
公开(公告)日：
2001-11-28
发明(设计)人：
贺贵虎
申请人：
申请人地址：
台湾省台北县新庄市复兴路3段109号1楼
IPC主分类号：
F28G900
IPC分类号：
代理机构：
上海华东专利事务所
代理人：
张泽纯
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2001-11-28 | 授权 | 授权 |
| 2005-03-23 | 专利权的终止未缴年费专利权终止 | 专利权的终止未缴年费专利权终止 |