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一种半导体炉管的清洗设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202023292128.X
申请日：
2020-12-30
公开(公告)号：
CN213546275U
公开(公告)日：
2021-06-25
发明(设计)人：
钱诚
童建
霍召军
申请人：
申请人地址：
225300 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路199号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-25 | 授权 | 授权 |