一种多层浮栅非易失性存储器结构及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910078554.2

申请日：

2009-02-25

公开(公告)号：

CN101814505A

公开(公告)日：

2010-08-25

发明(设计)人：

刘明王永王琴杨潇楠

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

H01L27115

IPC分类号：

H01L218247 H01L21283 H01L21205 C23C1624

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

周国城

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-12-28	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101254523590 IPC(主分类):H01L 27/115 专利申请号:2009100785542 公开日:20100825
2010-08-25	公开	公开
2010-10-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101007484258 IPC(主分类):H01L 27/115 专利申请号:2009100785542 申请日:20090225

共 50 条

[1]

一种复合存储介质浮栅存储器结构及其制作方法 [P].

刘明 ;

王永 ;

王琴 ;

杨潇楠 .

中国专利 :CN101814506A ,2010-08-25

[2]

浮栅非易失性存储器 [P].

林丰 ;

中西章滋 ;

五岛澄隆 .

中国专利 :CN100539155C ,2006-02-15

[3]

一种非易失性存储器及其制作方法 [P].

孔蔚然 .

中国专利 :CN101388415A ,2009-03-18

[4]

非易失性存储器的制作方法及非易失性存储器 [P].

李敏 .

中国专利 :CN105355601A ,2016-02-24

[5]

非易失性存储器及其制作方法 [P].

彭坤 .

中国专利 :CN105514107A ,2016-04-20

[6]

一种非易失性存储器及其制作方法 [P].

陈耿川 .

中国专利 :CN111192877A ,2020-05-22

[7]

一种非易失性存储器及其制作方法 [P].

陈耿川 .

中国专利 :CN111180448A ,2020-05-19

[8]

非易失性存储器以及其制作方法 [P].

黄启政 ;

施秉嘉 ;

王志铭 ;

黄骏松 ;

李祥丞 ;

林志宏 ;

许尧凯 .

中国专利 :CN102891184A ,2013-01-23

[9]

非易失性存储器的布局结构及其制作方法 [P].

王子嵩 ;

赖亮全 .

中国专利 :CN101308823A ,2008-11-19

[10]

金属浮栅在非易失性存储器中的集成 [P].

F.周 ;

X.刘 ;

J-W.杨 ;

N.杜 .

中国专利 :CN108292516A ,2018-07-17

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