一种复合存储介质浮栅存储器结构及其制作方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200910078558.0
申请日
2009-02-25
公开(公告)号
CN101814506A
公开(公告)日
2010-08-25
发明(设计)人
刘明 王永 王琴 杨潇楠
申请人
申请人地址
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
IPC主分类号
H01L27115
IPC分类号
H01L218247 H01L29788 B82B100 B82B300 C23C1624
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
周国城
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
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[10]
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