带浅表外延层的外延片形成方法及其外延片

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专利类型
发明
申请号
CN201010022705.5
申请日
2010-01-12
公开(公告)号
CN101777498A
公开(公告)日
2010-07-14
发明(设计)人
吴小利 许丹
申请人
申请人地址
201203上海市张江高科技圆区郭守敬路818号
IPC主分类号
H01L21336
IPC分类号
H01L2120 H01L2978
代理机构
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人
郑玮
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
降低裂纹的外延方法及其外延片 [P]. 
闫其昂 ;
王国斌 .
中国专利 :CN114864380B ,2025-02-21
[2]
降低裂纹的外延方法及其外延片 [P]. 
闫其昂 ;
王国斌 .
中国专利 :CN114864380A ,2022-08-05
[3]
降低外延片翘曲度的方法及其外延片 [P]. 
黄敏 ;
杨军伟 ;
陈蛟 ;
宋华平 ;
简基康 ;
王文军 ;
陈小龙 .
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[4]
外延片及其形成方法 [P]. 
李园 ;
赵东晶 .
中国专利 :CN102263178A ,2011-11-30
[5]
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许丹 .
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[6]
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火东明 .
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[7]
改善位错缺陷的外延方法及其外延片 [P]. 
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[8]
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森敬一朗 ;
长泽崇裕 .
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[9]
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林凡 ;
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周均铭 .
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[10]
外延片的制备方法和外延片 [P]. 
王旭光 ;
邱晓升 ;
王子博 ;
倪健 .
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