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降低外延片翘曲度的方法及其外延片
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010568239.4
申请日：
2020-06-19
公开(公告)号：
CN111725051A
公开(公告)日：
2020-09-29
发明(设计)人：
黄敏
杨军伟
陈蛟
宋华平
简基康
王文军
陈小龙
申请人：
申请人地址：
523000 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋
IPC主分类号：
H01L2102
IPC分类号：
H01L2916
代理机构：
深圳市千纳专利代理有限公司 44218
代理人：
刘晓敏
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-06 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 21/02 登记生效日:20220825 变更事项:申请人 变更前权利人:松山湖材料实验室 变更后权利人:松山湖材料实验室 变更事项:地址 变更前权利人:523000 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋 变更后权利人:523000 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋 变更事项:申请人 变更前权利人:中国科学院物理研究所 变更后权利人:中科汇珠（东莞市）咨询管理企业（有限合伙） |
| 2020-09-29 | 公开 | 公开 |
| 2022-02-18 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 21/02 登记生效日:20220207 变更事项:申请人 变更前权利人:松山湖材料实验室 变更后权利人:松山湖材料实验室 变更事项:地址 变更前权利人:523000 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋 变更后权利人:523000 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋 变更事项:申请人 变更后权利人:中国科学院物理研究所 |
| 2020-10-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20200619 |