一种硅片脱胶预冲洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320601528.5

申请日：

2013-09-28

公开(公告)号：

CN203508436U

公开(公告)日：

2014-04-02

发明(设计)人：

刘耀峰潘振东

申请人：

申请人地址：

214183 江苏省无锡市惠山区玉祁镇开发区

IPC主分类号：

B08B100

IPC分类号：

代理机构：

北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249

代理人：

刘洪京

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-02	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片脱胶预冲洗装置 [P].

刘耀峰 ;

潘振东 .

中国专利 :CN103506333A ,2014-01-15

[2]

一种硅片预清洗用脱胶装置 [P].

陈锋 ;

沈国君 ;

陆勇 ;

刘太盛 .

中国专利 :CN214918701U ,2021-11-30

[3]

一种硅片脱胶装置 [P].

靳立辉 ;

高浩 ;

王德智 ;

杜晨朋 ;

王毅 ;

张嘉航 .

中国专利 :CN223475763U ,2025-10-28

[4]

一种硅片脱胶装置 [P].

吕铁铮 ;

张娟 .

中国专利 :CN202111148U ,2012-01-11

[5]

一种硅片冲洗装置 [P].

聂金根 .

中国专利 :CN201859842U ,2011-06-08

[6]

一种硅片冲洗装置 [P].

周建国 ;

夏利荣 .

中国专利 :CN203426081U ,2014-02-12

[7]

一种新型硅片预冲洗设备 [P].

黄伟山 ;

杨东风 ;

彭军 .

中国专利 :CN203426091U ,2014-02-12

[8]

一种硅片脱胶支撑装置 [P].

黄金强 ;

杨定勇 ;

刘慧 ;

邹文龙 ;

谢海洋 .

中国专利 :CN221352734U ,2024-07-16

[9]

一种硅片脱胶周转装置 [P].

刘涛 ;

赵越 ;

危晨 ;

郭俊文 ;

崔伟 .

中国专利 :CN211365611U ,2020-08-28

[10]

一种硅片手动脱胶装置 [P].

王晓飞 ;

张明亮 ;

张倩 .

中国专利 :CN210897233U ,2020-06-30

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