一种硅片脱胶装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422337036.0

申请日：

2024-09-25

公开(公告)号：

CN223475763U

公开(公告)日：

2025-10-28

发明(设计)人：

靳立辉高浩王德智杜晨朋王毅张嘉航

申请人：

天津环博科技有限责任公司

申请人地址：

300384 天津市滨海新区华苑产业区华科大街1号

IPC主分类号：

B08B3/08

IPC分类号：

B08B3/10 B08B13/00 H01L21/67

代理机构：

天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213

代理人：

栾志超

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-28	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片脱胶装置 [P].

吕铁铮 ;

张娟 .

中国专利 :CN202111148U ,2012-01-11

[2]

一种硅片脱胶支撑装置 [P].

黄金强 ;

杨定勇 ;

刘慧 ;

邹文龙 ;

谢海洋 .

中国专利 :CN221352734U ,2024-07-16

[3]

一种硅片脱胶周转装置 [P].

刘涛 ;

赵越 ;

危晨 ;

郭俊文 ;

崔伟 .

中国专利 :CN211365611U ,2020-08-28

[4]

一种硅片手动脱胶装置 [P].

王晓飞 ;

张明亮 ;

张倩 .

中国专利 :CN210897233U ,2020-06-30

[5]

一种硅片加热脱胶装置 [P].

曹志勇 ;

杭智华 .

中国专利 :CN221657359U ,2024-09-06

[6]

一种硅片加热脱胶装置 [P].

章祥静 ;

魏泽武 .

中国专利 :CN215236478U ,2021-12-21

[7]

一种硅片快速脱胶装置 [P].

虞小平 .

中国专利 :CN211828699U ,2020-10-30

[8]

硅片脱胶隔板及硅片脱胶工装 [P].

马莹 ;

韩侠 .

中国专利 :CN203818358U ,2014-09-10

[9]

一种便于脱胶的硅片脱胶支架 [P].

陈忠海 .

中国专利 :CN207563355U ,2018-07-03

[10]

一种便于脱胶的硅片脱胶支架 [P].

张行江 .

中国专利 :CN206480609U ,2017-09-08

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