一种硅片快速脱胶装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020727368.9

申请日：

2020-05-07

公开(公告)号：

CN211828699U

公开(公告)日：

2020-10-30

发明(设计)人：

虞小平

申请人：

申请人地址：

225200 江苏省扬州市江都区郭村镇工业园区

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21677 H01L2102

代理机构：

南京德铭知识产权代理事务所(普通合伙) 32362

代理人：

奚鎏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-30	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片快速脱胶装置及脱胶工艺流程 [P].

虞小平 .

中国专利 :CN111508877A ,2020-08-07

[2]

一种硅片脱胶传动输送装置 [P].

虞小平 .

中国专利 :CN211828713U ,2020-10-30

[3]

一种硅片脱胶装置 [P].

靳立辉 ;

高浩 ;

王德智 ;

杜晨朋 ;

王毅 ;

张嘉航 .

中国专利 :CN223475763U ,2025-10-28

[4]

一种硅片脱胶装置 [P].

吕铁铮 ;

张娟 .

中国专利 :CN202111148U ,2012-01-11

[5]

一种金刚线切割硅片快速脱胶装置 [P].

蔡云鹏 ;

赵向阳 .

中国专利 :CN217226202U ,2022-08-19

[6]

一种硅片脱胶支撑装置 [P].

黄金强 ;

杨定勇 ;

刘慧 ;

邹文龙 ;

谢海洋 .

中国专利 :CN221352734U ,2024-07-16

[7]

一种硅片脱胶周转装置 [P].

刘涛 ;

赵越 ;

危晨 ;

郭俊文 ;

崔伟 .

中国专利 :CN211365611U ,2020-08-28

[8]

一种硅片手动脱胶装置 [P].

王晓飞 ;

张明亮 ;

张倩 .

中国专利 :CN210897233U ,2020-06-30

[9]

一种硅片加热脱胶装置 [P].

曹志勇 ;

杭智华 .

中国专利 :CN221657359U ,2024-09-06

[10]

一种硅片加热脱胶装置 [P].

章祥静 ;

魏泽武 .

中国专利 :CN215236478U ,2021-12-21

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