液体处理装置和液体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110308182.9

申请日：

2021-03-23

公开(公告)号：

CN113441195A

公开(公告)日：

2021-09-28

发明(设计)人：

山内拓史

申请人：

申请人地址：

日本埼玉县川口市

IPC主分类号：

B01L300

IPC分类号：

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

杨芳;臧建明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-28	公开	公开

共 50 条

[41]

液体处理方法和装置 [P].

保坂明仁 ;

秋野正二 ;

大塚浩 .

中国专利 :CN1475451A ,2004-02-18

[42]

液体处理方法和装置 [P].

A·B·安德森 .

中国专利 :CN101553434B ,2009-10-07

[43]

液体处理装置和包括该液体处理装置的液体处理系统 [P].

金承渊 ;

金保成 ;

徐圣镇 ;

张珉洙 ;

张峻源 ;

全贤贞 ;

崔岘焘 ;

D·许 ;

W·洪 .

韩国专利 :CN120079116A ,2025-06-03

[44]

液体处理方法以及用于该液体处理方法的液体处理装置 [P].

枝川晶义 ;

山本宽 ;

永冈秀基 ;

船越英典 ;

小棚木拓也 ;

榊原隆司 .

中国专利 :CN105189367A ,2015-12-23

[45]

液体处理装置及在液体处理装置中处理液体的方法 [P].

克里斯托弗·霍伊 .

德国专利 :CN119955613A ,2025-05-09

[46]

液体处理装置及其制造方法和液体处理系统 [P].

托马斯·内格尔 ;

马库斯·霍恩 ;

西蒙·弗洛伦 ;

玛丽亚·法斯特内尔 .

中国专利 :CN108067023A ,2018-05-25

[47]

液体处理单元及液体处理装置 [P].

吉川直毅 ;

北出祐基 .

中国专利 :CN106573809A ,2017-04-19

[48]

基板液体处理装置以及基板液体处理方法 [P].

田中裕司 ;

南辉臣 ;

川渕洋介 ;

伊藤规宏 ;

上村史洋 ;

薮田贵士 ;

小佐井一树 ;

乌野崇 ;

关口贤治 ;

藤井康 .

中国专利 :CN102044412A ,2011-05-04

[49]

用于液体处理装置的驱动单元和液体处理装置 [P].

M·哈姆斯 .

中国专利 :CN112118880B ,2020-12-22

[50]

液体处理装置以及液体处理装置的控制方法 [P].

佐佐木新二 .

日本专利 :CN111916343B ,2025-08-12

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