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液体处理装置和液体处理方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202110308182.9
申请日
:
2021-03-23
公开(公告)号
:
CN113441195A
公开(公告)日
:
2021-09-28
发明(设计)人
:
山内拓史
申请人
:
申请人地址
:
日本埼玉县川口市
IPC主分类号
:
B01L300
IPC分类号
:
代理机构
:
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人
:
杨芳;臧建明
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-09-28
公开
公开
共 50 条
[11]
液体处理方法和液体处理装置
[P].
桥本崇史
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桥本崇史
;
畠山真一
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畠山真一
;
柴田直树
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柴田直树
.
中国专利
:CN105810558B
,2016-07-27
[12]
基板的液体处理装置和液体处理方法
[P].
天野嘉文
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天野嘉文
;
水野刚资
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水野刚资
.
中国专利
:CN101996914B
,2011-03-30
[13]
基板液体处理装置和基板液体处理方法
[P].
福田昌弘
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福田昌弘
;
久保明广
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久保明广
;
山本太郎
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山本太郎
;
矢田健二
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矢田健二
;
大河内厚
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大河内厚
.
中国专利
:CN104854681B
,2015-08-19
[14]
基板液体处理装置和基板液体处理方法
[P].
原大海
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原大海
;
佐藤秀明
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佐藤秀明
;
河津贵裕
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河津贵裕
;
永井高志
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永井高志
.
中国专利
:CN104821285B
,2015-08-05
[15]
液体处理装置、液体处理方法和存储介质
[P].
长峰秀一
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长峰秀一
;
木下尚文
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木下尚文
;
枇杷聪
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枇杷聪
;
藤村浩二
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藤村浩二
.
中国专利
:CN101650532A
,2010-02-17
[16]
基板液体处理装置和基板液体处理方法
[P].
原大海
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原大海
;
佐藤秀明
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佐藤秀明
;
河津贵裕
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河津贵裕
;
永井高志
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永井高志
.
中国专利
:CN110010528A
,2019-07-12
[17]
基板液体处理装置和基板液体处理方法
[P].
佐藤秀明
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佐藤秀明
;
永井高志
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永井高志
;
原大海
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原大海
.
中国专利
:CN106024615A
,2016-10-12
[18]
基板液体处理装置和基板液体处理方法
[P].
佐藤秀明
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佐藤秀明
;
佐藤尊三
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佐藤尊三
.
中国专利
:CN105845602A
,2016-08-10
[19]
基板液体处理装置和基板液体处理方法
[P].
佐藤秀明
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佐藤秀明
;
原大海
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原大海
;
金振铉
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金振铉
.
中国专利
:CN105374712B
,2016-03-02
[20]
液体处理装置和处理方法
[P].
F·W·米勒
论文数:
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F·W·米勒
.
中国专利
:CN101084162A
,2007-12-05
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