液体处理装置和液体处理方法

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专利类型
发明
申请号
CN202110308182.9
申请日
2021-03-23
公开(公告)号
CN113441195A
公开(公告)日
2021-09-28
发明(设计)人
山内拓史
申请人
申请人地址
日本埼玉县川口市
IPC主分类号
B01L300
IPC分类号
代理机构
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人
杨芳;臧建明
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[11]
液体处理方法和液体处理装置 [P]. 
桥本崇史 ;
畠山真一 ;
柴田直树 .
中国专利 :CN105810558B ,2016-07-27
[12]
基板的液体处理装置和液体处理方法 [P]. 
天野嘉文 ;
水野刚资 .
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[13]
基板液体处理装置和基板液体处理方法 [P]. 
福田昌弘 ;
久保明广 ;
山本太郎 ;
矢田健二 ;
大河内厚 .
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[14]
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佐藤秀明 ;
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[15]
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[16]
基板液体处理装置和基板液体处理方法 [P]. 
原大海 ;
佐藤秀明 ;
河津贵裕 ;
永井高志 .
中国专利 :CN110010528A ,2019-07-12
[17]
基板液体处理装置和基板液体处理方法 [P]. 
佐藤秀明 ;
永井高志 ;
原大海 .
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[18]
基板液体处理装置和基板液体处理方法 [P]. 
佐藤秀明 ;
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[19]
基板液体处理装置和基板液体处理方法 [P]. 
佐藤秀明 ;
原大海 ;
金振铉 .
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[20]
液体处理装置和处理方法 [P]. 
F·W·米勒 .
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