光刻机控制系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910053599.4

申请日：

2009-06-23

公开(公告)号：

CN101581886A

公开(公告)日：

2009-11-18

发明(设计)人：

霍志军周权潘菊凤陈建民

申请人：

申请人地址：

201203上海市张江张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G05B19418

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

王洁

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-11-18	公开	公开
2011-10-12	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101195305661 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2009100535994 公开日:20091118
2010-01-13	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

光刻机的污染控制系统、方法和光刻机 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

沙鹏飞 ;

罗艳 ;

谢婉露 ;

李慧 ;

韩晓泉 .

中国专利 :CN114280893A ,2022-04-05

[2]

光刻机控制系统和方法 [P].

王伟 ;

李蒙 .

中国专利 :CN110874020A ,2020-03-10

[3]

光刻机控制系统以及控制方法 [P].

马鹏川 ;

吴卫军 ;

杨元培 .

中国专利 :CN115128910B ,2025-06-17

[4]

光刻机控制系统以及控制方法 [P].

马鹏川 ;

吴卫军 ;

杨元培 .

中国专利 :CN115128910A ,2022-09-30

[5]

光刻机及光刻机的控制方法和控制系统、生产设备 [P].

林启群 .

中国专利 :CN113534616A ,2021-10-22

[6]

光刻机及光刻机的控制方法和控制系统、生产设备 [P].

林启群 .

中国专利 :CN113534616B ,2024-03-26

[7]

一种激光光刻机控制系统及其光刻机 [P].

殷庆纵 ;

张宇峰 ;

王栋 .

中国专利 :CN205485277U ,2016-08-17

[8]

一种激光光刻机控制系统及其光刻机 [P].

殷庆纵 ;

张宇峰 ;

王栋 .

中国专利 :CN105467778A ,2016-04-06

[9]

直写式光刻机曝光控制系统 [P].

王正宏 .

中国专利 :CN201194067Y ,2009-02-11

[10]

光刻机照明系统及光刻机 [P].

金成昱 ;

金帅炯 ;

梁贤石 ;

丁明正 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

刘金彪 ;

白国斌 .

中国专利 :CN114675494A ,2022-06-28

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