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光刻机及光刻机的控制方法和控制系统、生产设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110785922.8
申请日：
2021-07-12
公开(公告)号：
CN113534616A
公开(公告)日：
2021-10-22
发明(设计)人：
林启群
申请人：
申请人地址：
230011 安徽省合肥市经济开发区空港工业园兴业大道388号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
G03F738
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
孟秀娟;黄健
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-10-22 | 公开 | 公开 |
| 2021-11-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20210712 |