一种晶圆位置检测装置仿真测试系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010903005.0

申请日：

2020-09-01

公开(公告)号：

CN111983432A

公开(公告)日：

2020-11-24

发明(设计)人：

戴金方

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市天山路6-2407

IPC主分类号：

G01R3128

IPC分类号：

代理机构：

无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228

代理人：

过顾佳;聂启新

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/28 申请日:20200901
2020-11-24	公开	公开
2021-10-29	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01R 31/28 变更事项:专利权人变更前:无锡卓海科技有限公司变更后:无锡卓海科技股份有限公司变更事项:地址变更前:214000 江苏省无锡市天山路6-2407 变更后:214000 江苏省无锡市新吴区漓江路11号
2021-04-20	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆位置检测装置 [P].

徐枭宇 .

中国专利 :CN112614797B ,2021-04-06

[2]

一种晶圆位置检测装置 [P].

杨晓亮 ;

杜罡 .

中国专利 :CN222483306U ,2025-02-14

[3]

晶圆位置检测装置、晶圆位置检测方法 [P].

袁林涛 .

中国专利 :CN110729216A ,2020-01-24

[4]

一种晶圆位置检测装置及其检测方法 [P].

谷德君 .

中国专利 :CN108074830A ,2018-05-25

[5]

晶圆位置检测装置 [P].

朱兵 .

中国专利 :CN220856495U ,2024-04-26

[6]

晶圆位置检测装置 [P].

王昕昀 ;

孟杰 ;

薛波 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208954953U ,2019-06-07

[7]

一种晶圆位置检测装置 [P].

陈增亮 ;

魏寅 ;

刘乐 ;

曾岩 ;

吴志军 ;

李安平 .

中国专利 :CN220820260U ,2024-04-19

[8]

晶圆位置检测装置和检测方法 [P].

王坚 ;

赵宇 ;

吴均 ;

陈福发 ;

王晖 .

中国专利 :CN103515264A ,2014-01-15

[9]

一种晶圆切边位置检测装置 [P].

王文举 ;

田知玲 ;

赵磊 ;

廉金武 ;

梅辰萌 .

中国专利 :CN114719750A ,2022-07-08

[10]

一种晶圆的位置检测装置 [P].

栾克豪 ;

闫鹏 ;

王玉宝 .

中国专利 :CN214470622U ,2021-10-22

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