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半导体设备和半导体存储器设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110189026.5
申请日：
2021-02-19
公开(公告)号：
CN113963728A
公开(公告)日：
2022-01-21
发明(设计)人：
李炫哲
申请人：
申请人地址：
韩国京畿道
IPC主分类号：
G11C514
IPC分类号：
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
刘久亮;黄纶伟
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G11C 5/14 申请日:20210219 |
| 2022-01-21 | 公开 | 公开 |