减震光刻机及其减震方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011404941.3

申请日：

2020-12-02

公开(公告)号：

CN112709778B

公开(公告)日：

2021-04-27

发明(设计)人：

王智洋张庆源李群王春霞

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市南山区粤海街道高新南区粤兴三道虚拟大学园产业化大楼A区A605-607-M

IPC主分类号：

F16F1502

IPC分类号：

F16F15023 F16F1504 F16F1506 F16M500 G03F720

代理机构：

深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374

代理人：

周雷

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-17	授权	授权
2021-05-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):F16F 15/02 申请日:20201202
2021-04-27	公开	公开

共 50 条

[1]

车辆悬挂系统及其减震方法 [P].

王智洋 ;

张庆源 ;

李群 .

中国专利 :CN112590482B ,2021-04-02

[2]

减震平台及减震方法 [P].

王智洋 ;

张庆源 ;

李群 .

中国专利 :CN112709777A ,2021-04-27

[3]

光刻机的污染控制系统、方法和光刻机 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

沙鹏飞 ;

罗艳 ;

谢婉露 ;

李慧 ;

韩晓泉 .

中国专利 :CN114280893A ,2022-04-05

[4]

高速激光点阵光刻机及其光刻方法 [P].

侯英华 .

中国专利 :CN105798464A ,2016-07-27

[5]

光刻机的检测系统及其检测方法、光刻机 [P].

王立君 .

中国专利 :CN120044766B ,2025-09-19

[6]

光刻机的检测系统及其检测方法、光刻机 [P].

王立君 .

中国专利 :CN120044766A ,2025-05-27

[7]

光刻机对准装置及其对准方法 [P].

马雨雷 ;

张品祥 ;

段立峰 ;

单世宝 .

中国专利 :CN102193320A ,2011-09-21

[8]

光刻方法及光刻机 [P].

李海峰 ;

赵志豪 ;

沈俊明 ;

古哲安 ;

吴建宏 .

中国专利 :CN120949523B ,2025-12-16

[9]

光刻机及光刻机污染控制方法 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

罗艳 ;

谢婉露 .

中国专利 :CN119781255A ,2025-04-08

[10]

光刻机和光刻机中吊框面型补偿方法 [P].

魏银雷 ;

廖飞红 ;

杨辅强 .

中国专利 :CN108508704A ,2018-09-07

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