一种掩膜版传送装置及掩膜版除尘方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811217630.9

申请日：

2018-10-18

公开(公告)号：

CN109240045A

公开(公告)日：

2019-01-18

发明(设计)人：

宋海生王晓龙郑海昌

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

智云

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20181018
2019-01-18	公开	公开
2021-08-27	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20190118

共 50 条

[1]

一种掩膜版传送装置 [P].

张逢洋 ;

黄诗淇 ;

龚明 ;

阚宇迪 ;

陈建 .

中国专利 :CN121084920A ,2025-12-09

[2]

一种掩膜版对位传送装置 [P].

徐智俊 ;

陆涛 ;

李文 ;

徐兵 ;

杜晓威 .

中国专利 :CN214454929U ,2021-10-22

[3]

一种掩膜版载台及掩膜版对准方法 [P].

张琪 ;

符友银 .

中国专利 :CN117369221A ,2024-01-09

[4]

一种掩膜版载台及掩膜版对准方法 [P].

张琪 ;

符友银 .

中国专利 :CN117369221B ,2025-09-26

[5]

掩膜版转运机构及掩膜版转运系统 [P].

张琪 ;

符友银 ;

芦志明 .

中国专利 :CN223073434U ,2025-07-08

[6]

一种掩膜版除尘装置 [P].

罗华明 ;

毛智彪 ;

杨正凯 ;

王艳云 .

中国专利 :CN103995434A ,2014-08-20

[7]

一种掩膜版机台以及掩膜版转移系统 [P].

胡淳铭 .

中国专利 :CN220491179U ,2024-02-13

[8]

掩膜版传送装置及光刻机 [P].

张琪 ;

符友银 ;

芦志明 .

中国专利 :CN119717408B ,2025-11-11

[9]

掩膜版传送装置及光刻机 [P].

张琪 ;

符友银 ;

芦志明 .

中国专利 :CN119717408A ,2025-03-28

[10]

一种掩膜版传输方法 [P].

王军伟 .

中国专利 :CN114313984A ,2022-04-12

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