一种掩膜版对位传送装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202120333423.0
申请日
2021-02-05
公开(公告)号
CN214454929U
公开(公告)日
2021-10-22
发明(设计)人
徐智俊 陆涛 李文 徐兵 杜晓威
申请人
申请人地址
230000 安徽省合肥市新站区谷河路与通淮路交口东北角
IPC主分类号
B65G4790
IPC分类号
B65G3500
代理机构
合肥律众知识产权代理有限公司 34147
代理人
夏舜
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种掩膜版加工用对位传送装置 [P]. 
叶丹丹 .
中国专利 :CN220787358U ,2024-04-16
[2]
一种掩膜版传送装置及掩膜版除尘方法 [P]. 
宋海生 ;
王晓龙 ;
郑海昌 .
中国专利 :CN109240045A ,2019-01-18
[3]
一种掩膜版传送装置 [P]. 
张逢洋 ;
黄诗淇 ;
龚明 ;
阚宇迪 ;
陈建 .
中国专利 :CN121084920A ,2025-12-09
[4]
掩膜版传送装置及光刻机 [P]. 
张琪 ;
符友银 ;
芦志明 .
中国专利 :CN119717408B ,2025-11-11
[5]
掩膜版传送装置及光刻机 [P]. 
张琪 ;
符友银 ;
芦志明 .
中国专利 :CN119717408A ,2025-03-28
[6]
一种掩膜版清洗装置 [P]. 
王晓龙 ;
姚俊俊 .
中国专利 :CN209577532U ,2019-11-05
[7]
一种掩膜版及掩膜版组件 [P]. 
安乐平 .
中国专利 :CN210529038U ,2020-05-15
[8]
一种掩膜版框架、掩膜版组件 [P]. 
钱超 ;
杨波 .
中国专利 :CN213295480U ,2021-05-28
[9]
掩膜版测量装置 [P]. 
梁宇辰 ;
李华 .
中国专利 :CN220773416U ,2024-04-12
[10]
子掩膜版及掩膜版 [P]. 
谢飞 ;
苏胜利 ;
张佳成 ;
周俊吉 .
中国专利 :CN207775334U ,2018-08-28