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一种掩膜版对位传送装置
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202120333423.0
申请日
:
2021-02-05
公开(公告)号
:
CN214454929U
公开(公告)日
:
2021-10-22
发明(设计)人
:
徐智俊
陆涛
李文
徐兵
杜晓威
申请人
:
申请人地址
:
230000 安徽省合肥市新站区谷河路与通淮路交口东北角
IPC主分类号
:
B65G4790
IPC分类号
:
B65G3500
代理机构
:
合肥律众知识产权代理有限公司 34147
代理人
:
夏舜
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-10-22
授权
授权
共 50 条
[1]
一种掩膜版加工用对位传送装置
[P].
叶丹丹
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
安徽寰球智能装备有限公司
安徽寰球智能装备有限公司
叶丹丹
.
中国专利
:CN220787358U
,2024-04-16
[2]
一种掩膜版传送装置及掩膜版除尘方法
[P].
宋海生
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宋海生
;
王晓龙
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王晓龙
;
郑海昌
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0
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0
郑海昌
.
中国专利
:CN109240045A
,2019-01-18
[3]
一种掩膜版传送装置
[P].
张逢洋
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机构:
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
张逢洋
;
黄诗淇
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机构:
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
黄诗淇
;
龚明
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机构:
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
龚明
;
阚宇迪
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机构:
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
阚宇迪
;
陈建
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机构:
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
陈建
.
中国专利
:CN121084920A
,2025-12-09
[4]
掩膜版传送装置及光刻机
[P].
张琪
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机构:
上海新毅东半导体科技有限公司
上海新毅东半导体科技有限公司
张琪
;
符友银
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机构:
上海新毅东半导体科技有限公司
上海新毅东半导体科技有限公司
符友银
;
芦志明
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机构:
上海新毅东半导体科技有限公司
上海新毅东半导体科技有限公司
芦志明
.
中国专利
:CN119717408B
,2025-11-11
[5]
掩膜版传送装置及光刻机
[P].
张琪
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机构:
上海新毅东半导体科技有限公司
上海新毅东半导体科技有限公司
张琪
;
符友银
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机构:
上海新毅东半导体科技有限公司
上海新毅东半导体科技有限公司
符友银
;
芦志明
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机构:
上海新毅东半导体科技有限公司
上海新毅东半导体科技有限公司
芦志明
.
中国专利
:CN119717408A
,2025-03-28
[6]
一种掩膜版清洗装置
[P].
王晓龙
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王晓龙
;
姚俊俊
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姚俊俊
.
中国专利
:CN209577532U
,2019-11-05
[7]
一种掩膜版及掩膜版组件
[P].
安乐平
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0
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0
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安乐平
.
中国专利
:CN210529038U
,2020-05-15
[8]
一种掩膜版框架、掩膜版组件
[P].
钱超
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钱超
;
杨波
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杨波
.
中国专利
:CN213295480U
,2021-05-28
[9]
掩膜版测量装置
[P].
梁宇辰
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机构:
上海探跃半导体设备有限公司
上海探跃半导体设备有限公司
梁宇辰
;
李华
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机构:
上海探跃半导体设备有限公司
上海探跃半导体设备有限公司
李华
.
中国专利
:CN220773416U
,2024-04-12
[10]
子掩膜版及掩膜版
[P].
谢飞
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谢飞
;
苏胜利
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苏胜利
;
张佳成
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张佳成
;
周俊吉
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周俊吉
.
中国专利
:CN207775334U
,2018-08-28
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