共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2007-11-28 | 授权 | 授权 |
| 2005-03-09 | 公开 | 公开 |
| 2005-05-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2016-02-17 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101647079027 IPC(主分类):H01L 21/316 专利号:ZL018215378 申请日:20011227 授权公告日:20071128 终止日期:20141227 |