光掩模坯料及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910904266.1

申请日：

2014-09-25

公开(公告)号：

CN110609437A

公开(公告)日：

2019-12-24

发明(设计)人：

稻月判臣吉井崇桜田豊久池田显金子英雄渡边聪河合义夫

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F176

IPC分类号：

G03F178 G03F136

代理机构：

隆天知识产权代理有限公司 72003

代理人：

陈曦;向勇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-24	公开	公开
2020-01-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/76 申请日:20140925

共 50 条

[1]

光掩模坯料及其制造方法 [P].

稻月判臣 ;

吉井崇 ;

桜田豊久 ;

池田显 ;

金子英雄 ;

渡边聪 ;

河合义夫 .

中国专利 :CN108594593A ,2018-09-28

[2]

光掩模坯料及其制造方法 [P].

稻月判臣 ;

吉井崇 ;

桜田豊久 ;

池田显 ;

金子英雄 ;

渡边聪 ;

河合义夫 .

中国专利 :CN104460221A ,2015-03-25

[3]

光掩模坯料及其制造方法 [P].

笹本纮平 ;

金子英雄 .

中国专利 :CN113867097A ,2021-12-31

[4]

光掩模坯料及光掩模的制造方法 [P].

宫岛千晶 .

日本专利 :CN120972447A ,2025-11-18

[5]

光掩模坯料及光掩模 [P].

吉川博树 ;

稻月判臣 ;

冈崎智 ;

原口崇 ;

岩片政秀 ;

高木干夫 ;

福岛祐一 ;

佐贺匡 .

中国专利 :CN101052917B ,2007-10-10

[6]

光掩膜坯料的制造方法 [P].

吉井崇 ;

河合义夫 ;

稻月判臣 ;

渡边聪 ;

池田显 ;

桜田豊久 ;

金子英雄 .

中国专利 :CN104460224B ,2015-03-25

[7]

光掩模坯料、光掩模及光掩模的制造方法 [P].

野泽顺 .

中国专利 :CN101556432A ,2009-10-14

[8]

光掩模坯料及光掩模的制造方法、显示装置的制造方法 [P].

坪井诚治 ;

中村真实 .

日本专利 :CN109960105B ,2024-06-18

[9]

光掩模坯料及其制造方法、光掩模的制造方法、以及显示装置的制造方法 [P].

坪井诚治 ;

中村真实 .

中国专利 :CN109254496A ,2019-01-22

[10]

光掩模坯料及光掩模的制造方法、显示装置的制造方法 [P].

坪井诚治 ;

中村真实 .

中国专利 :CN109960105A ,2019-07-02

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