光掩模坯料及光掩模的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510629262.2

申请日：

2025-05-16

公开(公告)号：

CN120972447A

公开(公告)日：

2025-11-18

发明(设计)人：

宫岛千晶

申请人：

信越化学工业株式会社

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

G03F1/32

IPC分类号：

代理机构：

中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038

代理人：

吴宗颐

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-18	公开	公开

共 50 条

[1]

光掩模坯料及光掩模 [P].

吉川博树 ;

稻月判臣 ;

冈崎智 ;

原口崇 ;

岩片政秀 ;

高木干夫 ;

福岛祐一 ;

佐贺匡 .

中国专利 :CN101052917B ,2007-10-10

[2]

光掩模坯料、光掩模及光掩模的制造方法 [P].

野泽顺 .

中国专利 :CN101556432A ,2009-10-14

[3]

光掩模坯料及其制造方法 [P].

稻月判臣 ;

吉井崇 ;

桜田豊久 ;

池田显 ;

金子英雄 ;

渡边聪 ;

河合义夫 .

中国专利 :CN110609437A ,2019-12-24

[4]

光掩模坯料及其制造方法 [P].

稻月判臣 ;

吉井崇 ;

桜田豊久 ;

池田显 ;

金子英雄 ;

渡边聪 ;

河合义夫 .

中国专利 :CN108594593A ,2018-09-28

[5]

光掩模坯料及其制造方法 [P].

稻月判臣 ;

吉井崇 ;

桜田豊久 ;

池田显 ;

金子英雄 ;

渡边聪 ;

河合义夫 .

中国专利 :CN104460221A ,2015-03-25

[6]

光掩模坯料及其制造方法 [P].

笹本纮平 ;

金子英雄 .

中国专利 :CN113867097A ,2021-12-31

[7]

光掩模坯料、光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

日本专利 :CN113391515B ,2025-02-25

[8]

光掩模坯料、光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

中国专利 :CN113391515A ,2021-09-14

[9]

光掩模坯料、光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 ;

石原重德 ;

花冈修 .

中国专利 :CN111258175A ,2020-06-09

[10]

光掩模坯料及光掩模的制造方法、显示装置的制造方法 [P].

坪井诚治 ;

中村真实 .

日本专利 :CN109960105B ,2024-06-18

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