光掩模坯料、光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911179769.3

申请日：

2019-11-27

公开(公告)号：

CN111258175A

公开(公告)日：

2020-06-09

发明(设计)人：

田边胜浅川敬司安森顺一石原重德花冈修

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F126

IPC分类号：

G03F180

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

王利波

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-09	公开	公开
2020-11-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/26 申请日:20191127

共 50 条

[1]

光掩模坯料、光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

日本专利 :CN113391515B ,2025-02-25

[2]

光掩模坯料、光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

中国专利 :CN113391515A ,2021-09-14

[3]

光掩模坯料、光掩模的制造方法、及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

日本专利 :CN111624848B ,2024-07-16

[4]

光掩模坯料、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 ;

石原重德 ;

花冈修 .

日本专利 :CN119126477A ,2024-12-13

[5]

光掩模坯料、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 ;

石原重德 ;

花冈修 .

日本专利 :CN111258175B ,2024-10-29

[6]

光掩模坯料、光掩模的制造方法、及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

中国专利 :CN111624848A ,2020-09-04

[7]

光掩模坯料、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 ;

石原重德 ;

花冈修 .

日本专利 :CN119126476A ,2024-12-13

[8]

光掩模坯料、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

中国专利 :CN113406855A ,2021-09-17

[9]

光掩模坯料、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

日本专利 :CN113406855B ,2025-09-02

[10]

光掩模坯料、光掩模的制造方法、及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

中国专利 :CN115145110A ,2022-10-04

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