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光掩模坯料、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911179769.3
申请日：
2019-11-27
公开(公告)号：
CN111258175B
公开(公告)日：
2024-10-29
发明(设计)人：
田边胜 浅川敬司 安森顺一 石原重德 花冈修
申请人：
HOYA株式会社
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
G03F1/26
IPC分类号：
G03F1/80
代理机构：
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人：
王利波
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-10-29 授权 授权
共 50 条
[1]
光掩模坯料、光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P]. 
田边胜 ;
浅川敬司 ;
安森顺一 .
日本专利 :CN113391515B ,2025-02-25
[2]
光掩模坯料、光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P]. 
田边胜 ;
浅川敬司 ;
安森顺一 .
中国专利 :CN113391515A ,2021-09-14
[3]
光掩模坯料、光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P]. 
田边胜 ;
浅川敬司 ;
安森顺一 ;
石原重德 ;
花冈修 .
中国专利 :CN111258175A ,2020-06-09
[4]
光掩模坯料、光掩模的制造方法、及显示装置的制造方法 [P]. 
田边胜 ;
浅川敬司 ;
安森顺一 .
日本专利 :CN111624848B ,2024-07-16
[5]
光掩模坯料、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P]. 
田边胜 ;
浅川敬司 ;
安森顺一 ;
石原重德 ;
花冈修 .
日本专利 :CN119126477A ,2024-12-13
[6]
光掩模坯料、光掩模的制造方法、及显示装置的制造方法 [P]. 
田边胜 ;
浅川敬司 ;
安森顺一 .
中国专利 :CN111624848A ,2020-09-04
[7]
光掩模坯料、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P]. 
田边胜 ;
浅川敬司 ;
安森顺一 ;
石原重德 ;
花冈修 .
日本专利 :CN119126476A ,2024-12-13
[8]
光掩模坯料、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P]. 
田边胜 ;
浅川敬司 ;
安森顺一 .
中国专利 :CN113406855A ,2021-09-17
[9]
光掩模坯料、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P]. 
田边胜 ;
浅川敬司 ;
安森顺一 .
日本专利 :CN113406855B ,2025-09-02
[10]
光掩模坯料、光掩模的制造方法、及显示装置的制造方法 [P]. 
田边胜 ;
浅川敬司 ;
安森顺一 .
中国专利 :CN115145110A ,2022-10-04
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