光掩模坯料、光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110243881.X

申请日：

2021-03-05

公开(公告)号：

CN113391515B

公开(公告)日：

2025-02-25

发明(设计)人：

田边胜浅川敬司安森顺一

申请人：

HOYA株式会社

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F1/26

IPC分类号：

G03F1/80

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

王利波

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-25	授权	授权

共 50 条

[1]

光掩模坯料、光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

中国专利 :CN113391515A ,2021-09-14

[2]

光掩模坯料、光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 ;

石原重德 ;

花冈修 .

中国专利 :CN111258175A ,2020-06-09

[3]

光掩模坯料、光掩模的制造方法、及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

日本专利 :CN111624848B ,2024-07-16

[4]

光掩模坯料、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 ;

石原重德 ;

花冈修 .

日本专利 :CN119126477A ,2024-12-13

[5]

光掩模坯料、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 ;

石原重德 ;

花冈修 .

日本专利 :CN111258175B ,2024-10-29

[6]

光掩模坯料、光掩模的制造方法、及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

中国专利 :CN111624848A ,2020-09-04

[7]

光掩模坯料、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 ;

石原重德 ;

花冈修 .

日本专利 :CN119126476A ,2024-12-13

[8]

光掩模坯料、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

中国专利 :CN113406855A ,2021-09-17

[9]

光掩模坯料、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

日本专利 :CN113406855B ,2025-09-02

[10]

光掩模坯料、光掩模的制造方法、及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

中国专利 :CN115145110A ,2022-10-04

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